工程設(shè)備工作參數(shù)的提取精度作為故障信息監(jiān)測(cè)與診斷的數(shù)據(jù)源，直接決定了后續(xù)故障診斷的準(zhǔn)確性，是機(jī)械故障信息監(jiān)測(cè)的關(guān)鍵設(shè)備。

　　隨著無(wú)線監(jiān)控系統(tǒng)的工業(yè)應(yīng)用和制造設(shè)備智能化發(fā)展的趨勢(shì)，目前使用的數(shù)字加速度傳感器由于成本和體積的原因逐漸不能滿足工業(yè)的實(shí)際需求。因此，將具有小型化、量產(chǎn)潛力的MEMS傳感器應(yīng)用于機(jī)械故障信息監(jiān)測(cè)，可以為制造設(shè)備的集成化、智能化發(fā)展提供必要的器件支撐。

　　結(jié)合各種傳感器的優(yōu)缺點(diǎn)和機(jī)械制造設(shè)備故障檢測(cè)用振動(dòng)傳感器的性能要求，介紹了數(shù)字加速度傳感器的工作原理、結(jié)構(gòu)和微加工工藝，根據(jù)傳感器固有頻率與測(cè)量靈敏度的制約關(guān)系，提出了“小變形-大應(yīng)力”的敏感結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方法，并根據(jù)設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和微加工工藝能力制定了傳感器芯片的制造工藝。

　　數(shù)字加速度傳感器的工作原理壓阻式傳感器利用材料的壓阻效應(yīng)，將物理量轉(zhuǎn)化為電學(xué)量，實(shí)現(xiàn)信號(hào)測(cè)量。目前數(shù)字加速度傳感器大多采用“梁-質(zhì)量”結(jié)構(gòu)，主要包括質(zhì)量、支撐梁和壓阻三個(gè)基本元件。

　　秦皇島市北戴河蘭德科技有限責(zé)任公司1992年成立，位于北戴河經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)，是集研發(fā)、生產(chǎn)、經(jīng)營(yíng)為一體的科技型民營(yíng)小企業(yè)，通過(guò)GB/T19001-2016/ISO9001:2015質(zhì)量管理體系認(rèn)證。